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                2020年中国▓半导体薄膜沉积设备行业市场规模及≡发展趋势分析 国产化任重道远力量气息【组图】

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                20 韦婷 ? 2020-09-07 11:40:54  来源:前瞻产业研究院 E10516G1

                在晶圆制造↘中占←25%的比重

                沉积是半导体制造工艺中的一个非常重要的卐技术,其是一连串涉及原子的吸附、吸附原子在〇表面扩散及在适当的位置下聚结,以渐渐形成薄膜并成长的过程。在一个新晶圆投资建设中』,晶圆厂80%的投资用于购买设备。其中,薄膜沉积设备是晶圆制造直接达到神级的核心步骤之一,占据着约25%的比重。

                图表1:半导体设他竟然会在剑皇星备投资占比情况←(单位:%)

                薄膜沉积工易水寒艺主要有原子层沉积(ALD)、物理式真空镀膜(PVD)、化学式真空藏宝库镀膜(CVD)等,其中ALD又是属于CVD的一种,是目前最先我会慢慢跟你说进的薄膜沉积技术。CVD,即使用金属卤化物、有机金属、碳氢化⌒合物等热分解,氢还原在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物七成等材料;PVD是将原子从原料靶材上溅射出来,利用物理过程实现物质转移,沉积形成导电电√路。

                图表2:三种半导体薄膜沉积工艺比较

                全球市场♀规模至2025年有望达到ξ ㊣ 340亿美元

                近年来,全球薄膜沉积设备♂持续稳定发展,根据Maximize Market Research数据统计,全球半〗导体薄膜沉积市场2017年市场空间约为125亿美元,预计到2025年将达到340亿美元,期间以年复ζ 合13.3%的速度增长。其中市♀场将以存储、AMOLED显示屏以及太阳能电站等新兴应用需求的增@加为驱动薄膜沉积市场增长的核心动力。

                图表3:2017-2025年全球◤薄膜沉积设备市场规模及预测(单位:亿美元,%)

                CVD占主导地位

                从半导体薄膜沉积设备主要类型来看,CVD设备∮占据着57%的薄↘膜沉积设备市场,领先于把他团团包围了起来其他类型设备;其次是PVD,占比为25%;ALD及其他镀那就绝对不能违背膜设备占据着这次18%的市场份■额。

                图表4:2019年全球半导体薄膜沉积设备市■场格局(单位:%)

                国际巨头黑熊王大声长笑占领细分市场

                从各细笑意分市场来看,在CVD设备〓市场中,应用材料全混蛋球占比约30%,加上泛林半导体的21%和TEL的19%,三大厂商占据了№全球70%的市场◥份额;在ALD设备市拿出来吧场中,ALD设备龙头TEL和ASM分别占◤据了31%和29%的市场战一天目光炯炯份额那存在,剩下40%的份额由其他厂商占据;在PVD设备市每天都只吸收生命宝石之上场中,应用材料则基本垄☆断了PVD市场,占85%的比重,处于绝对╱龙头地位。

                图表5:2019年薄膜沉积各细分设备品牌占比情况(单位:%)

                国产化率仅为2%

                从国※内市场看,中国薄膜沉积设备龙头有北方华创和沈阳拓∩荆。其中,北方华创产品线覆盖CVD、PVD和ALD三类;沈阳拓荆主攻CVD和ALD,目前技术储备均伤口深可见骨达到28/14nm节点。但从︻国内设备存量市场来看,我国薄膜沉积设备国产化率仅为2%,98%的设〗备来源于进口。

                为加速薄膜沉积设备国产化脚步,近年来北方华创和沈阳拓□ 荆两家公司不断加大研发力度,也分别在技术储备以及客∮户认证方面取得了良好进展。2020年4月7日,北方华◆创宣布,其THEORISSN302D型12英寸氮化硅沉积设备进入国内集成电路制造龙头▽企业。该设备的交♀付,意味着国●产立式LPCVD设备在先进集成电路制造♂领域的应用拓展上实现重大进展。

                图表6:中国薄透明膜沉积设备国产化情况(单位:%)

                图表7:中国薄膜沉积设备相关领先企业技术进展情↘况

                以上数据来源于前瞻产业研究院《中国半导体产业战略规划和企业战略咨询兵力了报告》,同时前瞻产业□研究院提供产业河内分分彩下载、产业规划、产业申报、产业园区规划、产业招商引▲资等解决方案。

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                作者 韦婷
                前瞻产↑业研究员、 分析师
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